Na linii produkcyjnej odchylenia termiczne podczas suszenia płytek krzemowych lub procesu wygrzewania fotorezystu wpływają negatywnie nie tylko na szybkość produkcji. Przyczyniają się one również do zmian krytycznych wymiarów płytek i obniżają jakość produktu końcowego. W otoczeniu o kontrolowanej atmosferze i temperaturze konwencjonalne grzejniki muszą zapewniać jednolitość temperatury bez tworzenia się cząstek. Nasze elementy grzejne typu infraczerwone zostały stworzone właśnie z myślą o takich warunkach.
Co jest istotne w praktyce
Używamy emiterów promieniowania podczerwonego o krótkich falach, które działają wewnątrz kwarcowych obudów. Dzięki temu ciepło jest szybkie i skierowane w określonym kierunku, a współczynnik emisji pozostaje stabilny. Dzięki temu uzyskujemy jednolitą temperaturę na powierzchni płytek w zakresie ±0,1°C w całym procesie. Reakcja grzejnika jest dostatecznie szybka, aby sprostać wymaganiom procesów o dużym przepływie. Wyniki są powtarzalne, więc profile obiegu ciepła pozostają stabilne z partii na partię. Te elementy grzejne pracują w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100, gdzie ilość uwalnianych gazów jest niska, a konstrukcja elementów nie powoduje tworzenia się cząstek podczas normalnej pracy.
Dlaczego to działa w praktyce
Podczas suszenia płytek krzemowych energia podczerwona szybko i równomiernie usuwa rozpuszczalniki, co zmniejsza liczbę defektów na powierzchni płytek. W litografii powtarzalność procesu wygrzewania fotorezystu sprawia, że możliwe jest dokładniejsze kontrolowanie wymiarów płytek oraz zmniejszenie liczby koniecznych poprawek. Podczas pakowania cykle utwardzania odbywają się przy przewidywalnych profilach termicznych, dzięki czemu przyczepność i niezawodność produktu są zachowane. Zużycie energii jest niskie, ponieważ grzejniki dostarczają ciepło według aktualnych potrzeb – mała masa cieplna, minimalne straty ciepła. Niezawodność polega na długim czasie pracy urządzeń; mamy urządzenia, które pracują 24/7 z stabilnym wynikiem i przewidywalnymi interwałami konserwacji.
Wskazówki praktyczne
Instalacja polega na doborze odpowiedniej średnicy grzejnika, gęstości mocy oraz zachowaniu odpowiednich odległości termicznych. Należy dopasować geometryczne właściwości emitera do reflektora oraz dobrze skonfigurować mechanizm zwrotny sterownika – w przeciwnym razie pojawią się obszary o zbyt wysokiej temperaturze. Należy także uwzględnić specyfikację napięcia, wymiary oraz typ złącza dostosowanego do specyfikacji urządzenia. Jeśli wszystko zostanie prawidłowo skonfigurowane, system będzie funkcjonować prawidłowo. W przeciwnym razie straci się jednolitość temperatury i powtarzalność wyników.