Stop met raden over de droogtijd van uw wafers: waarom IR de oplossing is
Wanneer u MEMS-sensorwafers droogt, speelt u een gevaarlijk spel met vocht. Eén verkeerde zet en de oppervlaktespanning trekt die kleine, kwetsbare microstructuren naar elkaar toe. We noemen dit ‘stiction’ en het is een nachtmerrie voor iedereen die een hoge opbrengst wil behouden.
Als u een slimme fabriek bouwt, kunt u niet vertrouwen op ouderwetse methoden. U heeft hitte nodig die goed reageert.
Hitte maken die te programmeren is
Hier is het probleem met traditionele convectieovens: ze werken traag. Ze hebben eeuwen nodig om op temperatuur te komen en nog langer om af te koelen. Proberen schone gegevens uit hen te halen, is net alsof je een schip probeert besturen met een gebroken roer.
Daarom zijn we overgestapt op infrarood (IR).
IR is in feite een ‘aanzetten/uitschakelen’-schakelaar voor hitte. Het gebeurt onmiddellijk. Omdat u de sterkte van de hitte zeer precies kunt regelen, wordt het verwarmingsproces gewoon nog een variabele in uw code. U kunt de uitgang rechtstreeks koppelen aan uw PLC, zodat elke wafer precies dezelfde behandeling krijgt. Het is voorspelbaar en herhaalbaar. Bovendien werkt het goed samen met de rest van uw digitale apparatuur.
De kracht van kortegolf-Infrarood
We gebruiken kortegolf-Infrarood voor MEMS. Waarom? Omdat het geen tijd verspilt. Het bereikt direct het oppervlak en verdrijft het vocht in seconden. Tegen de tijd dat de wafer beseft dat hij wordt verwarmd, is het water al weg – waardoor de microstructuren geen kans hebben om samen te smelten.
Maar let op: een hoge vermogensdichtheid is goed om de afmetingen van uw apparatuur klein te houden, maar het veroorzaakt ook veel overtollige warmte. Als u een apparaat met hoge vermogens gebruikt, moet u goed opletten met de koeling van het apparaat. Anders gaan de controlecomponenten oververhit raken, wat een groot probleem kan zijn.
Waarom dit beter is dan de oude manier
De meeste mensen zijn gewend om de lucht te verwarmen in de hoop dat het onderdeel warmer wordt. Dat is tijdverspilling. IR werkt anders: het verwarmt de wafer rechtstreeks. Het is sneller. Bovendien voorkomt het dat uw schone ruimte verandert in een sauna. Als u nog een gesloten feedbacksysteem met IR-sensoren toevoegt, hoeft u geen gokken meer te doen. U kunt de echte oppervlaktetemperatuur in real-time zien en de sterkte van de hitte op het juiste moment aanpassen.
U hebt het niet meer alleen over ‘het uitvoeren van een cyclus’. U beheerst nu echt de fysica van het proces.