Dalam proses pengeringan OLED, teknologi litografi OLED tidak memberikan ruang untuk berlakunya perubahan suhu yang ketara. Jika suhu meningkat sebanyak ±0.5°C sahaja, ia akan menyebabkan ketidakkonsistenan pada kualiti permukaan bahan tersebut, serta masalah pada profil lapisan resisten yang digunakan dalam proses pengukiran. Oleh itu, diperlukan lampu pengering yang mampu mengekalkan suhu yang tetap, bukannya lampu yang suhunya berubah-ubah mengikut keadaan persekitaran.
Apa yang telah kami bina, dan mengapa
Kami menggunakan lampu pengering OLED yang beroperasi pada gelombang inframerah pendek (SWIR), yang diletakkan di dalam selubung kuarza. Cara ini membolehkan pemindahan tenaga yang cepat dan tepat ke lapisan resisten, sambil meminimumkan pemanasan pada permukaan bahan tersebut. Sistem pengawalan suhu ini memastikan suhu tetap berada dalam lingkungan ±0.1°C merentas keseluruhan permukaan wafer, dengan tahap ketepatan sebanyak 0.05°C untuk setiap kitaran.
Sistem ini sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Kami telah mengesahkan bahawa tiada zarah terhasil semasa proses pengeringan, melalui pemantauan secara langsung. Sistem kawalan berfungsi secara tertutup, dengan menggunakan pirameter yang telah dikalibrasi dan mekanisme kompensasi emisi untuk mengukur suhu pada permukaan resisten, bukan pada badan lampu itu sendiri.
Mengapa ia berfungsi dengan baik di fasiliti pengeluaran OLED
Dalam proses pengeringan OLED dan penggunaan lapisan resisten, kawalan suhu sangat penting. Jika suhu terlalu rendah, pelarut tidak dapat hilang sepenuhnya. Sebaliknya, jika suhu terlalu tinggi, ia akan menyebabkan timbulnya kecacatan pada permukaan bahan tersebut. Lampu ini memastikan suhu pengeringan tetap stabil setiap kali proses berlangsung, sehingga kualiti permukaan bahan tetap konsisten.
Proses pengeringan yang cepat ini memendekkan masa yang diperlukan untuk proses pengeringan, sekali gus meningkatkan kelajuan pengeluaran tanpa meningkatkan suhu yang berlebihan. Reka bentuknya efisien: pengubahan tenaga elektrik menjadi tenaga radiasi yang tinggi, serta jisim haba yang rendah, membantu mengurangkan kos operasi dan haba yang terbuang ke dalam bilik bersih. Kebolehpercayaan sistem ini sangat tinggi, kerana ia boleh beroperasi 24/7, dengan data yang menunjukkan bahawa sistem ini dapat beroperasi dengan stabil selama ribuan jam.
Apa yang perlu anda persiapkan
Lampu ini berukuran kecil, tetapi ia memerlukan saluran pengudaraan yang sesuai serta sumber kuasa yang stabil untuk memastikan prestasinya tetap baik. Jika anda ingin menggabungkannya dengan sistem lama, anda perlu memastikan adanya antaramuka mekanikal dan kawalan yang sesuai. Pastikan konektor, selubung pemasangan, serta sistem kawalan PLC berfungsi dengan baik sebelum memulakan operasi.
Lakukan ujian pendek untuk menyesuaikan profil pengeringan mengikut jenis bahan resisten yang digunakan, kemudian pastikan ia kekal stabil.