ファブ内での汚染について心配する必要はありません。
クラス100のクリーンルームを運用している場合、ミスの余地は一切ありません。わずかなほこりや、安価な加熱素子から発生するガスでも、シリコンウェハーは台無しになってしまいます。これは真っ赤な悪夢です。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを採用しました。
なぜ石英が適しているのか
私たちが使用しているのは、ほぼすべての不純物が取り除かれた融解シリカです。なぜでしょうか？というのも、極端に高温になると、通常の材料は壊れてしまい、金属イオンやVOCが工程内に漏れ出してしまうからです。
しかし、石英はそういうことは起こりません。さらに、急速な電力制御にも耐えられ、管が割れる心配もありません。したがって、温度を自由に調整しても、管が壊れる心配はありません。
速度と「熱の問題」
このランプは高ワット密度で動作します。つまり、短波長の光エネルギーが多く含まれているため、熱が基板に速く伝わります。これにより、乾燥時間が大幅に短縮されます。
しかし、問題点もあります。その強力なエネルギーによって、ケース内に多くの熱が発生します。最大出力で使用する場合、ケースの冷却機能が十分でないと、マウントブラケットが変形してしまいます。念のためにご注意ください。
設置方法
私たちは、部品のサイズをできるだけ小さくしました。重たい部品や不要な部品は一切ありません。また、端部で使用される接着剤やフラックスも使わず、精密に加工された接続部品を使用しています。これにより、空気を清潔に保つことができます。
もし既に乾燥モジュールがある場合、これらはそのまま取り替え可能です。私たちは、石英管と配線との間の密封性を徹底的に改善しました。そうすることで、たとえ管が損傷しても、ハロゲンガスがクリーンルーム内に漏れ出ることはありません。
これにより、生産効率を高め、ダウンタイムをほぼゼロにすることができます。