Nelle linee di produzione OLED, la litografia a OLED non lascia alcuno spazio per eventuali deviazioni termiche. Anche una deviazione di soli ±0,5°C può causare problemi legati all’uniformità della struttura del materiale fotoresistivo, nonché problemi nei processi di incisione. È necessario quindi utilizzare una lampada di essiccazione che mantenga una temperatura costante, senza subire variazioni nel corso del tempo.
Cosa abbiamo costruito e perché
Abbiamo montato la lampada di essiccazione OLED su emettitori a infrarossi a onde corte, all’interno di un involucro in quarzo. Questo permette una trasferimento rapido ed efficace dell’energia al materiale fotoresistivo, con un minimo riscaldamento del substrato sottostante. L’array di riscaldamento è progettato in modo tale che la temperatura rimanga entro i limiti di ±0,1°C su tutta la superficie del wafer; inoltre, la ripetibilità dei risultati è di 0,05°C ciclo dopo ciclo.
Il sistema è adatto per ambienti puliti di classe 1–100. Abbiamo verificato che non vi sia alcuna generazione di particelle, grazie a sistemi di monitoraggio in tempo reale. Il controllo avviene in modo chiuso, tramite un pirometro calibrato e compensazioni per l’emissività, in modo da misurare la temperatura sulla superficie del materiale fotoresistivo, e non sul corpo della lampada stessa.
Perché funziona bene nelle fabbriche OLED
Nei processi di essiccazione del materiale fotoresistivo e di trattamento termico, il controllo della temperatura è fondamentale. Se la temperatura è troppo bassa, i solventi non vengono eliminati completamente; se invece è troppo alta, si creano difetti che influenzano negativamente il processo di formazione delle strutture desiderate. Questa lampada permette di mantenere la temperatura precisa ad ogni ciclo, garantendo così stabilità nella qualità del prodotto.
La rapida accelerazione termica riduce il tempo necessario per il trattamento termico, aumentando così la produttività senza aumentare eccessivamente le temperature. Il sistema è efficiente per natura: una alta conversione tra energia elettrica e radiazione, unita a una bassa massa termica, permette di ridurre i costi energetici e di minimizzare i rifiuti termici nell’ambiente di lavoro. La affidabilità del sistema è garantita anche per lunghi periodi di funzionamento continuo, con migliaia di ore di funzionamento stabile registrate nei dati di campo.
Cosa bisogna considerare
La lampada è compatta, ma richiede un sistema di aspirazione dedicato e un’alimentazione elettrica di qualità, per mantenere prestazioni stabili. Se si intende integrarla in sistemi esistenti, sarà necessario utilizzare adattatori meccanici e di controllo. È importante verificare prima del collaudo il tipo di connettore, l’involucro di montaggio e i meccanismi di controllo.
È consigliabile eseguire una breve procedura di collaudo per definire correttamente i parametri di essiccazione in base al tipo di materiale fotoresistivo utilizzato, e poi fissare tali parametri.