Smettete di preoccuparvi della contaminazione nella vostra sala pulita per la lavorazione dei wafer di silicio. Quando si lavora in una sala pulita di classe 100, non c’è spazio per errori: anche il minimo granello di polvere o l’emissione di gas da parte di elementi termici di scarsa qualità può distruggere i wafer di silicio. È davvero uno scenario disastroso. Ecco perché abbiamo passato all’uso di lampade a infrarossi realizzate in quarzo sintetico ad alta purezza.
Perché il quarzo funziona bene
Utilizziamo silice fusa, privata di quasi tutte le impurità. Perché? Perché quando le temperature diventano estremamente elevate, i materiali tradizionali iniziano a deteriorarsi; essi infatti rilasciano ioni metallici e sostanze volatili che possono compromettere il processo di produzione. Il quarzo invece non presenta questo problema. Inoltre, resiste bene alle variazioni rapide di temperatura senza rompersi. Potete aumentare o diminuire la temperatura senza temere che i tubi si rompano.
Velocità e il “problema del calore”
Queste lampade sono progettate per funzionare a elevate potenze. In pratica, racchiudono molta energia nel campo delle lunghezze d’onda corte, il che significa che il calore raggiunge il substrato molto più velocemente rispetto ai metodi tradizionali di riscaldamento. È molto veloce… e questo permette di ridurre notevolmente i tempi di essiccazione. Tuttavia, tutta questa energia genera molto calore all’interno della struttura della lampada. Se le lampade vengono utilizzate a potenza massima, è fondamentale assicurarsi che il sistema di raffreddamento funzioni correttamente. Altrimenti, i componenti della lampada potrebbero danneggiarsi.
Integrazione nei sistemi esistenti
Abbiamo cercato di mantenere dimensioni ridotte per questi dispositivi: niente parti ingombranti, niente complicazioni. Abbiamo anche eliminato gli adesivi e i fluidi utilizzati per collegare i componenti. Questi materiali rappresentano una fonte potenziale di contaminazione. Invece, utilizziamo connessioni precisionali che garantiscono una tenuta perfetta e mantengono l’aria pulita. Se già disponete di moduli di essiccazione, questi dispositivi possono essere utilizzati direttamente al loro posto. Abbiamo dovuto dedicare molto tempo per ottimizzare il sigillo tra il tubo di quarzo e i fili di collegamento. In questo modo, anche se un tubo dovesse danneggiarsi, non ci sarà alcuna perdita di gas allogenici nella sala pulita. È un modo semplice per mantenere alti i livelli di produttività e ridurre al minimo i tempi di inattività.