Hentikan kebiasaan memanaskan dinding mesin Anda
Di ruang bersih yang digunakan untuk proses semikonduktor, memanaskan bagian yang tidak seharusnya merupakan hal yang sangat berbahaya. Jika Anda menggunakan metode konveksi atau pemanas radiasi biasa, Anda pasti sudah menyadari masalahnya: panas akan menyebar ke mana-mana. Dinding dalam mesin pun menjadi sangat panas, sehingga bisa membahayakan operator yang bekerja di sana. Komponen-komponen sensitif juga akan rusak akibat ekspansi termal. Ini tentu saja merepotkan dan berisiko.
Kita mengatasi masalah ini dengan menggunakan pemanas inframerah yang berarah tertentu. Kuncinya terletak pada cara panas tersebut bergerak. Bayangkan saja seperti senter, bukan pemanas biasa. Sementara konveksi hanya memanaskan udara, lampu inframerah mengirimkan radiasi secara lurus. Kita arahkan lampu-lampu ini langsung ke wafer atau substrat. Material tersebut akan menyerap energi tersebut, sedangkan udara di sekitarnya tetap dingin. Kabinet logam pun tetap dingin. Dengan demikian, area proses menjadi sangat panas, tetapi masih aman untuk disentuh.
Mendapatkan hasil maksimal dalam ruang yang sempit.
Untuk membuat ukuran mesin tetap kecil, kita menggunakan emitor inframerah berfrekuensi tinggi. Emitter ini mampu menghasilkan banyak energi dalam ukuran yang kecil. Prosesnya cepat sekali—Anda dapat mencapai suhu target dalam hitungan detik.
Namun, ada syaratnya. Jika daya yang digunakan terlalu besar, situasinya akan menjadi berbahaya. Jika reflektor tersebut rusak atau tidak berada di posisi yang tepat, maka akan timbul “titik panas” di dinding mesin. Itulah mengapa kita sangat memperhatikan kualitas reflektor berbahan emas dan aluminium yang digunakan. Anda perlu memastikan agar sinar panas tersebut tetap berada di jalur yang tepat.
Memudahkan pekerjaan semua orang.
Dengan menghentikan pemborosan panas, sistem HVAC di ruang bersih tidak perlu bekerja keras. Sistem ini dibuat sebagai pengganti alat pemanas lama yang kurang efektif. Cukup hubungkannya ke kontroler PID agar suhu dapat dikontrol dengan baik. Dengan begitu, tidak akan ada lagi kecelakaan akibat dinding yang terlalu panas. Operator pun dapat mendekati mesin tanpa rasa takut. Selain itu, alarm termal yang tidak perlu juga dapat dihilangkan. Semuanya berjalan lancar.