Arrêtez de deviner les temps de séchage de vos wafers : pourquoi l’IR est la solution idéale
Lorsque vous séchez des wafers de capteurs MEMS, vous jouez un jeu dangereux avec l’humidité. Une erreur de manipulation suffit pour que la tension de surface agisse sur ces micro-structures délicates et les rassemble. Nous appelons cela la « stiction » ; c’est un véritable cauchemar pour ceux qui cherchent à maintenir un taux de réussite élevé.
Si vous construisez une usine intelligente, vous ne pouvez pas vous fier aux méthodes traditionnelles. Vous avez besoin d’un système de chauffage fiable.
Faire en sorte que le chauffage soit programmable
Voici le problème avec les fours à convection traditionnels : ils sont lents. Il leur faut beaucoup de temps pour se chauffer, et encore plus longtemps pour se refroidir. Essayer d’obtenir des données précises avec eux, c’est comme essayer de diriger un navire dont le gouvernail est cassé.
C’est pourquoi nous avons opté pour l’infrarouge. L’infrarouge fonctionne comme un interrupteur allumé/éteint : il produit de la chaleur instantanément. Comme on peut réguler la puissance avec précision, le processus de chauffage devient simplement une autre variable dans votre code. Vous pouvez connecter directement cette sortie à votre PLC, afin que chaque wafer reçoive exactement le même traitement. C’est prévisible, reproductible… et cela fonctionne bien avec le reste de votre système numérique.
La magie de l’infrarouge à ondes courtes
Nous utilisons l’infrarouge à ondes courtes pour le traitement des wafers MEMS. Pourquoi ? Parce qu’il ne perd pas de temps. Il chauffe directement la surface du wafer, en éliminant l’humidité en quelques secondes seulement. Avant même que le wafer ne se rende compte qu’il est chauffé, l’eau a déjà disparu – ce qui signifie que les micro-structures n’ont pas le temps de se coller entre elles.
Mais attention : une forte densité de puissance est utile pour réduire la taille de l’équipement, mais elle génère également beaucoup de chaleur résiduelle. Si vous choisissez un système à haute puissance, ne négligez pas le refroidissement du châssis. Sinon, vos composants électroniques vont surchauffer, ce qui est un problème inutile.
Pourquoi c’est mieux que les méthodes traditionnelles
La plupart des gens ont l’habitude de chauffer l’air, dans l’espoir que la pièce se réchauffe. C’est une perte de temps. L’infrarouge évite cet intermédiaire et chauffe directement le wafer. C’est plus rapide. De plus, en ajoutant un système de contrôle en boucle fermée avec des capteurs infrarouges, vous n’avez plus besoin de deviner. Vous pouvez voir la température réelle de la surface en temps réel et ajuster la puissance au fur et à mesure. Vous ne vous contentez plus de « lancer un cycle » : vous contrôlez vraiment les paramètres physiques du processus.