Sur le sol de fabrication, quelques degrés peuvent décider si une plaquette est acceptée ou jetée. Un point chaud pendant la cuisson douce ou la cuisson dure, et vous imprimez une ligne qui est tout sauf uniforme. La plaquette sort de la station déjà au-delà de son budget thermique.
Nous avons conçu le Chauffage de Plaquette le Plus Vendu 2026 pour éliminer cette variabilité.
Ce qui compte sous le capot
La plateforme utilise des émetteurs halogènes infrarouges à ondes courtes (SWIR) à l’intérieur d’une chambre améliorée en quartz, ajustée pour une uniformité thermique au niveau de la plaquette de ±0,1°C sur le substrat. La répétabilité d’un cycle à l’autre se maintient à ±0,2°C, de sorte que vos profils de cuisson critiques—cuisson douce, cuisson dure et cuisson post-application—restent conformes aux spécifications.
Elle est compatible avec les salles blanches de Classe 1 à 100, fabriquée avec des matériaux à faible dégazage et un chemin d’air contrôlé par les particules qui empêche l’augmentation des comptes de fond. Une génération de particules nulle au point de chauffage n’est pas un slogan ; c’est une contrainte de conception, et nous le vérifions avec une métrologie in-situ.
Le système est conçu pour un fonctionnement 24/7 avec un MTBF validé sur le terrain et des modules réparables, de sorte que les temps d’arrêt non planifiés restent minimisés.
Pourquoi il est pertinent en lithographie et en traitement de photoresist
La température est ce qui régule le contrôle des CD, la pente du profil et la densité des défauts. Lorsque le chauffage maintient les profils de cuisson dans des bandes plus étroites, vous constatez moins de reprises, moins de déchets, et des cycles de qualification qui se terminent à temps.
La consommation d’énergie est plus rationnelle grâce à une réponse rapide à la montée en température et à de faibles pertes au repos. Vous réduisez les coûts d’exploitation sans ralentir le débit. Le bénéfice se traduit par une largeur de ligne stable, moins de défauts et un rendement sur lequel vous pouvez compter.
Les détails pratiques
Vous aurez besoin d’un circuit dédié de 230 V et d’une qualité de liquide de refroidissement vérifiée pour maintenir la température de l’émetteur stable sur de longues campagnes. L’empreinte est compacte, mais l’intégration nécessite tout de même une planification. Confirmez la compatibilité du PLC de l’outil, l’alignement des connecteurs, et le routage des gaz d’échappement local avant l’installation.
Une fois alignée, l’unité fonctionne comme une étape thermique à régler et à oublier qui maintient le processus sous contrôle.