En el área de fabricación, incluso una pequeña variación de temperatura, de medio grado, puede afectar negativamente las dimensiones críticas de los chips y reducir su rendimiento. Las placas calentadoras convencionales no logran compensar estas variaciones térmicas, y esa incertidumbre se refleja en el proceso de producción. Por eso, desarrollamos un secador por infrarrojos compacto para el procesamiento de circuitos integrados, con el fin de eliminar esta variabilidad.
Calefacción por infrarrojos: uniformidad y repetibilidad a nivel submilimétrico
Este dispositivo utiliza emisores de luz infrarroja cercana, ajustados para que la energía penetre más rápidamente en el material, manteniendo así un control preciso de la temperatura. Se logra una uniformidad a nivel submilimétrico en toda la superficie de la oblea, y la temperatura se mantiene dentro de un rango de ±0.1°C durante todo el proceso de secado.
Utilizamos sensores de temperatura de bucle cerrado directamente en la superficie de la oblea, además de una cavidad reflectante que evita que el calor se disperse. La repetibilidad entre ciclos es de pocos miligrados, lo que garantiza que el perfil de secado sea constante.
¿Por qué funciona donde importa?
En el proceso de litografía, este dispositivo permite manejar tanto los procesos de secado suave como duro con el mismo nivel de control, acortando así el tiempo de ciclo mientras se mantiene la calidad del material. En los procesos de limpieza y secado, elimina la humedad sin sobrecalentar las capas finas.
Este dispositivo funciona perfectamente en salas limpias de clase 1–100, y no genera partículas, como lo demuestra el monitoreo en tiempo real. El consumo de energía es menor, ya que el calor se concentra en el objetivo, no en toda la sala. Está diseñado para funcionar 24/7, con una vida útil de los emisores de más de 5,000 horas y un rendimiento estable.
Consideraciones prácticas
Para su instalación, se necesita una fuente de alimentación dedicada de 24 VCC, además de una mesa limpia e isolada de vibraciones, para mantener la alineación correcta del haz lumínico. El secador está optimizado para obleas de 150 mm y 200 mm; para obleas de 300 mm, se requiere un soporte especial y un procedimiento de calibración.
Es necesario realizar pruebas preliminares para determinar las características específicas de los materiales a tratar, y luego fijar los parámetros adecuados.