Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, stellt die Beheizung ein echtes Problem dar. Es geht dabei nicht nur um die Temperatur – sondern auch um die unsichtbaren Stoffe, die entstehen können.
Herkömmliche Infrarotlampen sind in dieser Hinsicht besonders problematisch: Sie geben Gase ab oder geben kleine Metallflakes von ihren Endkappen ab. Wenn eines dieser Flakes auf eine Wafer oder eine optische Schicht fällt, ist das Geld, das man dafür ausgegeben hat, einfach verschwendet.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir Hochreinquarztuben mit speziellen keramischen Endkappen kombiniert haben. So funktioniert es eigentlich:
Hochreinquarz – der Schlüssel zur Lösung
Wir verwenden synthetisches Hochreinquarz, weil es bei hohen Temperaturen nicht kaputtgeht. Wenn man normales Glas bei 1000 °C erhitzt, wird es entweder zerbrechen oder beginnt, flüchtige organische Verbindungen abzugeben. Das ist natürlich nicht ideal für einen Reinraum.
Diese Emittoren nutzen ein konzentriertes Kurzwellenspektrum. Mit anderen Worten: Die Wärme gelangt direkt zum Ziel – es wird keine Energie verschwendet, um die Luft um das Gerät herum zu erhitzen. Dadurch bleibt die Raumtemperatur genau dort, wo sie sein soll.
Warum wir Wert auf keramische Endkappen legen
Die Endkappen sind meist der Ort, an dem Probleme auftreten. Metallendkappen oxidieren im Laufe der Zeit und brechen ab. Wir verwenden daher hochwertige Keramiken. Dadurch dehnen und schrumpfen die Endkappen in demselben Maße wie das Quarz – dadurch bleibt die Dichtigkeit gewährleistet. Zudem geben diese Keramiken keine Gase ab und brechen nicht ab. So bleibt die Halogenladung im Inneren des Geräts und alles Andere bleibt draußen.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Man kann diese Endkappen einfach als Ersatz für die vorhandenen Endkappen verwenden. Doch Vorsicht: Hochreinquarz ist brüchiger als das dotierte Glas, an das man vielleicht gewöhnt ist. Wenn die Befestigungsklemmen zu fest angezogen werden, kann das Rohr beim Erhitzen brechen. Geben Sie den Rohren etwas Spielraum. Schon eine kleine Toleranz macht einen großen Unterschied.
Achten Sie außerdem auf die Stromversorgung. Diese Rohre arbeiten an ihren physischen Grenzen, um eine vollständige Kontamination zu vermeiden. Deshalb kann schon ein Spannungsspitzen dazu führen, dass die Glühfäden zerbrechen. Stellen Sie sicher, dass Ihre PID-Controller richtig eingestellt sind, damit die Temperaturen nicht zu stark ansteigen.