V provozu výroby není termální posun během sušení čipů nebo zahřívání fotorezistů jen problémem spojeným s rychlostí výroby. Tento posun ovlivňuje také kritické rozměry čipů a snižuje jejich kvalitu. V prostředí ochranné komory – s přísnou atmosférou a omezeným množstvím tepla – se konvenční ohřívače snaží udržet rovnoměrnost teploty, aniž by do prostředí přidávaly částice. Naše infračervené ohřívače jsou navrženy právě pro takové podmínky.
Co je důležité při použití
Používáme krátkovlnné infračervené emitory s křemennými obaly – díky tomu je teplo rychlé a směrové, zatímco emisivita zůstává stabilní. Dosahuje se tak rovnoměrnosti teploty na úrovni čipu v rozsahu ±0,1 °C během celého procesu. Reakce ohřívačů je dostatečně rychlá na to, aby držely krok s vysokorychlostními procesy. Výstupní hodnoty jsou opakovatelné, takže profile zahřívání zůstávají stabilní v každé sérii výroby. Tyto elementy fungují v čistých místnostech třídy 1–100, s nízkým množstvím uvolňovaných plynů a konstrukcí, která během normálního provozu neuvolňuje částice.
Proč to v praxi funguje
Při sušení čipů infračervené záření rychle a rovnoměrně odstraňuje rozpouštědla, čímž se snižují povrchové vady. V lithografii přispívá opakovatelnost zahřívání fotorezistů k lepší kontrole rozměrů čipů a ke snížení počtu oprav. Při balení umožňují prognózovatelné teplotní profile zajistit vhodnou adhezi a spolehlivost. Spotřeba energie klesá, protože ohřívače dodávají teplo podle potřeby – s nízkou tepelnou hmotností a minimální ztrátou energie. Spolehlivost se projevuje dlouhou dobou provozu; máme zařízení, která fungují 24/7 s stabilním výstupem a předvídatelnými intervaly údržby.
Poznámky z praxe
Instalace závisí na rozhraní s ochrannou komorou, hustotě napětí a tepelných mezích. Je potřeba sladit geometrii emitérů s geometrií reflektorů a správně nastavit zpětnovazební mechanismus řídicího prvku – jinak vzniknou „horké body“ a nadměrné zahřátí. Je nutné také určit správné napětí, rozměry a typ konektoru odpovídajícího vašemu vybavení. Pokud se podaří správně zarovnat a kalibrovat systém, bude fungovat efektivně. V opačném případě dojde ke ztrátě rovnoměrnosti teploty a opakovatelnosti.