ফ্যাব ফ্লোরে, মাত্র অর্ধ ডিগ্রির পরিবর্তনও আইসি প্রক্রিয়াকরণের জন্য গুরুত্বপূর্ণ। ঐ পরিবর্তনগুলো উৎপাদন ক্ষমতাকে কমিয়ে দেয়। প্রচলিত হটপ্লেটগুলো তাপীয় পরিবর্তনগুলো মোকাবিলা করতে পারে না; ফলে এই অনিশ্চয়তাগুলো উৎপাদন প্রক্রিয়ায় প্রভাব ফেলে। আমরা IC প্রক্রিয়াকরণের জন্য একটি কমপ্যাক্ট ইনফ্রারেড ড্রায়ার তৈরি করেছি; এটা এই অনিশ্চয়তাগুলোকে দূর করে।
ইনফ্রারেড হিটিং: সাব-মিলিমিটার মাত্রায় সমানতা ও পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা
এই ডিভাইসটি নিয়ার-ইনফ্রারেড (NIR) বিকিরণ ব্যবহার করে; ফলে শক্তি দ্রুত প্রবেশ করে এবং তাপীয় ভারসাম্য বজায় থাকে। ওয়েফারের সর্বত্র সাব-মিলিমিটার মাত্রায় সমানতা থাকে; বেকিংয়ের সময় তাপমাত্রা ±0.1°C-এর মধ্যে থাকে।
আমরা ওয়েফারের সরাসরি নিচে ক্লোজড-লুপ পাইরোমেট্রি ব্যবহার করি; আর রিফ্লেক্টিভ ক্যাভিটি অপ্রয়োজনীয় তাপকে দূর রাখে। প্রতিবার প্রক্রিয়া চালানোর সময় তাপমাত্রার পরিবর্তন মাত্র কয়েক মিলিডিগ্রি হয়; ফলে বেকিং প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণে থাকে।
কেন এটা কার্যকর?
লিথোগ্রাফিতে, এটা “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” উভয় ধরনের প্রক্রিয়াই নিয়ন্ত্রণ করতে পারে; ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায় এবং রেজিস্ট প্রোফাইলগুলো ঠিক থাকে। ক্লিনিং ও ড্রায়িংয়ের ক্ষেত্রে, এটা অতিরিক্ত তাপ ছাড়াই আর্দ্রতা দূর করে।
এই ডিভাইসটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে সহজেই ব্যবহার করা যায়; আর ইন-সিটু মনিটরিংয়ের মাধ্যমে নিশ্চিত করা যায় যে এটা কোনো কণা উৎপন্ন করে না। শক্তি ব্যবহার কম হয়; কারণ NIR বিকিরণ শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুকেই উত্তপ্ত করে, ঘরটিকে নয়। এটা 24/7 চালানোর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; এর এমিটারের জীবনকাল 5,000 ঘণ্টারও বেশি, আর আউটপুটও স্থিতিশীল।
ব্যবহারের জন্য গুরুত্বপূর্ণ বিষয়সমূহ
ইনস্টলেশনের জন্য 24 VDC ভোল্টেজ, ক্লাস 2 পাওয়ার সার্কিট এবং কম্পন-মুক্ত বেঞ্চ প্রয়োজন। ড্রায়ারটি 150 মিমি ও 200 মিমি ওয়েফারের জন্য অপ্টিমাইজড; 300 মিমি ওয়েফারের জন্য কাস্টম চাক ও ক্যালিব্রেশন প্রয়োজন। আপনার নির্দিষ্ট ফিল্ম স্ট্যাকের জন্য প্রথমে একটি সংক্ষিপ্ত টেস্ট করুন; তারপর রেসিপিটি নির্ধারণ করুন।