ফ্যাব ফ্লোরে, AFM হিটার-এ 0.1°C ড্রিফ্ট শুধুমাত্র একটি মাপজোখের সমস্যা নয়। এটি ফটোরেসিস্ট সফট বেক এবং হার্ড বেককে প্রভাবিত করতে পারে, এবং আপনার সম্পূর্ণ θερ্মাল বাজেটের ভারসাম্য ভেঙে দিতে পারে। যখন θερ্মাল একটি সামঞ্জস্যহীনতা ঘটায়, তখন লাইন-প্রস্থ নিয়ন্ত্রণ এবং ত্রুটি ঘনত্বও প্রভাবিত হয়। আমরা এই AFM হিটারটি এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে তাপমাত্রা physics অনুযায়ী সঠিক স্থানে ধরে রাখা যায়—সেম্পলেই, স্ক্যান এলাকার পুরো অংশে এবং Class 1-100 ক্লিনরুমের ভিতরে।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে যা গুরুত্বপূর্ণ
হিটারটি একটি স্বল্প-তরঙ্গ আভজ infra-red উপাদানকে একটি quartz-স্থিতিশীল θερ্মাল পথের সাথে সংযুক্ত করে। এর ফলে ওয়েফার পৃষ্ঠে ±0.1°C ইউনিফর্মিটির সাথে স্থিতিশীল, স্থানীয়কৃত তাপ প্রদান সম্ভব হয়। এই ডিজাইনটি ramp-up এবং settle-এর সময় কোনও কণা ঝরায় না, তাই lithography-সংলগ্ন কাজের সময় particle গণনা অক্ষত থাকে।
আমরা AFM ইন্টিগ্রেশনের উপযোগী footprint নির্ধারণ করি, 24/7 নির্ভরযোগ্যতা লক্ষ্য করি এবং হাজার হাজার θερ্মাল সাইকেল পার হওয়ার পরও ড্রিফ্ট ছাড়াই পুনরাবৃত্ত setpoints নিশ্চিত করি। পাওয়ার ডেলিভারি টুলের envelope অনুযায়ী মেলানো হয় এবং ইন্টারফেস দ্রুত পরিবর্তনের জন্য গঠন করা হয়েছে—অর্থাৎ কোনো প্রসেস বিরতি হয় না।
Lithography-সংযুক্ত মেট্রোলজিতে কেন এটি কার্যকর
যদি AFM হিটার ফটোরেসিস্টের bake প্রোফাইল সঠিকভাবে প্রতিলিপি না করে, তাহলে CD ইউনিফর্মিটি নষ্ট হয়। এখানে আপনি পুনরাবৃত্তিমূলক সঙ্গতিপূর্ণ bake প্রোফাইল পাবেন, যার ফলে সফট বেক ও হার্ড বেকের উদ্দেশ্য অনুক্রমকে predictable resist আচরণে রূপান্তরিত করা যায়। পুনঃকাজ ও ত্রুটি হ্রাস পায়। সাইকেল সময় স্থির থাকে।
স্বল্প-তরঙ্গ NIR দক্ষতা এবং শক্তিশালী θερ্মাল coupling এনার্জি ব্যবহারের হিসাব রাখে, ফলে তাপমাত্রার নির্ভুলতা বজায় রেখে কম তাপ ব্যবহার সম্ভব হয়।
কয়েকটি ব্যবহারিক নোট
হিটারটি ক্লিনরুম-সঙ্গত, তবে θερ্মাল পারফরম্যান্স AFM স্টেজ এবং নমুনা স্তরের উপরে নির্ভর করে। setpoint স্থিতিশীল হওয়ার জন্য সংক্ষিপ্ত warm-up প্রয়োজন হবে, এবং নিশ্চিত করুন আপনার স্টেজের উপাদান ও মাউন্টিং পদ্ধতি θερ্মাল ইন্টারফেসের সাথে সঙ্গতিপূর্ণ।
প্রথম দিন থেকেই ইউনিফর্মিটি স্পেসিফিকেশন পূরণ ও ক্লিনরুম কমপ্লায়েন্স বজায় রাখতে একটি যোগ্য ইনস্টলেশন পরিকল্পনা করুন।