في أرضية المصنع، يمكن لأي تغير بسيط في درجة الحرارة، حتى لو كان نصف درجة مئوية، أن يؤثر سلبًا على الخصائص الهامة للرقائق ويقلل من كفاءة الإنتاج. تساعد الأجهزة التقليدية في التغلب على هذه المشكلة، لكن هذا الأمر يظل غير مضمون في العملية الإنتاجية. لذلك، قمنا بتطوير جهاز تجفيف بالأشعة تحت الحمراء صغير الحجم لاستخدامه في معالجة الرقائق، وذلك للتخلص من هذه المشكلات.
التسخين بالأشعة تحت الحمراء: توحيد درجة الحرارة على مستوى دقائق الميليمتر يعتمد هذا الجهاز على مصادر إشعاع تحت الحمراء قريبة الموجة، مما يسمح بخروج الطاقة بشكل أسرع والحفاظ على استقرار درجة الحرارة. يتم تحقيق توحيد درجة الحرارة على مستوى دقائق الميليمتر، وتظل درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية أثناء عملية التجفيف.
نستخدم في ذلك أجهزة قياس الحرارة باستخدام حلقة مغلقة، بالإضافة إلى تجويف عاكس يمنع انتشار الحرارة الزائدة. يتم تحقيق استقرار في درجة الحرارة خلال عمليات التجفيف، بحيث تظل درجة الحرارة ثابتة.
لماذا يعمل هذا الجهاز بفعالية؟ في عملية الطباعة الضوئية، يساعد هذا الجهاز في التعامل مع عمليات التجفيف بنفس الدقة، مما يقلل من وقت العملية ويحافظ على جودة الرقائق. كما أنه يساعد في إزالة الرطوبة دون تسخين الأغشية الرقيقة.
يمكن استخدام هذا الجهاز في غرف نظيفة من الفئة 1–100، ولا ينتج أي جسيمات، وذلك بفضل أنظمة المراقبة المستمرة. يقل استهلاك الطاقة لأن الجهاز يسخن الهدف المراد تسخينه فقط، وليس الغرفة بأكملها. تم تصميم هذا الجهاز للعمل على مدار 24 ساعة، مع عمر يزيد عن 5,000 ساعة، وإخراج ثابت.
ملاحظات عملية للتخطيط يحتاج الجهاز إلى مصدر طاقة بجهد 24 فولت مستمر، بالإضافة إلى طاولة نظيفة خالية من الاهتزازات لضمان دقة توجيه الأشعة. يتم تصميم الجهاز للاستخدام مع رقائق بحجم 150 مم و200 مم؛ أما الرقائق بحجم 300 مم، فيحتاج إلى محمل خاص وإجراءات معينة للضبط.
يجب إجراء اختبارات أولية لتحديد خصائص الأغشية المستخدمة، ثم تثبيت إعدادات الجهاز بشكل دقيق.